产品详情
应用领域：节能玻璃、智能玻璃、薄膜太阳能电池
性能
| 参数 | 典型数值 |
| 生产工艺 | 粉末冶金方法成型，多个靶管/靶块拼接贴合为AZO靶材成品。 |
| 主要成分 | 98wt%ZnO + 2wt%Al2O3 (注：根据客户的需求，可提供Al2O3掺杂量在0.06~3wt%的AZO靶材) |
| 纯度 | >99.95wt% |
| 密度 | >5.52 g/cm3 |
| 电阻率 | ≤ 3×10-3 Ω·cm |
| 金属杂质含量 | Fe ≤50ppm, Si ≤80ppm, Na ≤20ppm, Pb ≤30ppm, others ≤50ppm. Total ≤500ppm |
| 靶材尺寸 | 平面靶 (50~300mm)L×(50~250mm)W×(4~15mm)H 旋转靶 (133~138mm)ID×(151~169mm)OD×(150~260mm)H |
| 绑定焊接率 | >95% |
| 产品特点：高致密度；溅射表面光滑；含氧量充足，无需通氧溅射 | |
